電子線照射装置は、その名の通り電子線を発生させます。電子線は放射線に該当しますので、取り扱いについて十分注意が必要となり、エネルギーに応じて法令が関わってきます。
また、大気に電子線が照射されることで人体に有害なオゾンが生じたり、装置の電源タンクには絶縁を保つため、温室効果ガスであるSF₆ガスを使用したりしています。
ここではこれらに関する日本国内での法規制や取り扱いについて紹介します。