スキャン型の電子線照射装置ではスポット状の電子ビームが電磁場により左右に走査されます。そのため電子線の進行方向は照射窓箔中心部付近では真下に、両端部付近では斜めになります。そして素材にその進行方向を保ったまま電子線が照射されることになります。この斜め方向の照射が素材にどのような影響を与えるのかを説明します。

当社では低エネルギーから高エネルギーまで幅広いエネルギー範囲の電子線照射装置を製造・販売しています。
電子線の「線(ビーム)」とは、エネルギーを持つ光や粒子の流れという意味です。つまり電子線は、エネルギーを持った電子の流れを表しています。
本記事では電子線発生原理と電子線照射装置の概要、さらに当社で製造している電子線照射装置の種類と特長について紹介します。