電子線照射加工の多くは有機材料の改質に用いられていますが、無機材料への電子線照射加工も、行われています。
無機材料への電子線照射加工は、結晶中の原子のはじき出しや電子を励起することによる結晶構造への欠陥生成が利用されます。
本記事では結晶構造への欠陥生成の工業利用例として、半導体材料のシリコンへの照射加工を紹介します。