荷電粒子が物質中を進むと、エネルギーを失います。これを物質側から見ると、入射してくる荷電粒子を止める能力、阻止能（Stopping Power：S）とみなせます。この阻止能が電子線の深さ方向の線量分布（深度線量分布）にどのように影響を及ぼしているかを説明します。

スキャン型の電子線照射装置ではスポット状の電子ビームが電磁場により左右に走査されます。そのため電子線の進行方向は照射窓箔中心部付近では真下に、両端部付近では斜めになります。そして素材にその進行方向を保ったまま電子線が照射されることになります。この斜め方向の照射が素材にどのような影響を与えるのかを説明します。

電子の飛程に比べて被照射物が相当厚い場合、両面照射することにより、被照射物全体に照射効果を得ることができます。この両面照射の利点と注意点を説明します。

材料の厚み方向への電子線の影響についての考え方と加速電圧選定方法について説明します。