温室効果ガス排出量削減製品 SF6ガス回収用ブースターポンプ
電子線照射装置（EPS）は、電源部の絶縁にSF6 ガスを使用しており、メンテナンス時のガス回収において微量ながらSF6ガスの大気放出が避けられません。ブースターポンプを使用することでガスの大気放出量を大幅に削減、更に回収時間も大幅に短縮することが可能となります。地球にやさしく、またメンテナンス作業の効率化にもつながります。
■効果（約20㎥のタンクで回収した時の実測値）
- 大気排出量（未回収分）の低減
-
- 5kg
- 1.7kg
（二酸化炭素換算で約80トンの低減）
- 真空回収時間の短縮
-
- 12時間
- 3時間
